检测平台规格

（长×宽）mm

检测平台精度等级

0级检测平台

1级检测平台

2检测工平台

3级检测平台

检测平台平面度公差(μm)

200×200

5

10

20.5

200×300

5.5

11

22

300×300

5.5

11

22

300×400

6

12

24

400×400

6.5

12.5

25

400×500

6.5

13

26

66

500×500

6.8

14

28

68

400×600

7

14

27.5

70

500×600

7

14.2

28.5

71

500×800

8

15.5

31

78

600×800

8

16

32

80

1000×750

9

18

36

90

1000×1000

10

20

40

97

1000×1200

10

20.5

41

103

1000×1500

11

22

45

112

1000×2000

26

52

130

1500×2000

28

56

140

2000×2000

31

61

153

2000×2500

34

67

168

1500×3000

35

70

174

2000×3000

37

74

184

2000×4000

44

88

219